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精度要求是镀层厚度检测仪不变的追求

浏览次数:19发布日期:2021-11-20
  镀层厚度检测仪的基本工作原理是当探头接触被测图案时,探头装置产生的高频电磁场使置于探头下方的金属导体产生涡流,其幅值和相位是导体和探头之间非导电涂层厚度的函数。即涡流产生的交变电磁场会改变探头的参数,而探头的参数变量,通过转换电信号可以得到涂层的厚度。
 

镀层厚度检测仪

 

  1、磁性测厚法:适用于导磁材料上非磁性层的测厚。导磁材料一般为钢、银、镍。该方法测量精度高。
  2、涡流测厚法:适用于导电金属上非导电层的测厚。这种方法比磁性测厚方法具有更高的精度。
  3、超声波测厚:适用于多层镀层厚度的测量或以上两种方法无法测量的场合。
  4、电解测厚法:此法与上述三种方法不同。不属于无损检测,需要破坏涂层。一般准确率不高。
  5、辐射测厚法:这种仪器很贵,适用于一些特殊场合。
  精度要求是镀层厚度检测仪不变的追求,以下这些就是影响它精度的因素:
  1、当覆土厚度大于25μm时,误差与覆土厚度近似成正比;
  2、母材的电导率对测量有影响,与母材材料的成分及热处理方法有关;
  3、任何测厚仪都要求母材的临界厚度。只有大于这个厚度,测量才不会受到母材厚度的影响;
  4、测厚仪对图案测量有边缘效应,即靠近图案边缘或内角测量不可靠
  5、试样的曲率对测量有影响,随着曲率半径的减小会显着增大;
  6、母材和镀层的表面粗糙度影响测量精度,影响随着粗糙度的增加而增大;
  7、镀层厚度检测仪对阻碍探头与覆盖层表面紧密接触的附着物敏感。因此,测量前应清除探头和覆盖层表面的污垢;在测量过程中,保持探头与测试表面恒压垂直接触。
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